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智能程控匀胶机 SC-100A
发布时间:2019-08-30   点击次数:44次

智能程控匀胶机 型号:SC-100A

智能化设计、高配置、高稳定性机型。 
  PC控制系统,更好的可操控性可编程设计。 
  5“人机界面,全中文操作系统,更方便操作。 
  适合多种材料匀胶、制版工艺。   
广泛应用于微电子、光电子、通讯、微机械、材料科学及新能源等领域 
  采用无刷伺服电机,全闭环数字编码器测速机构,实测整个过程马达速度。 机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢、永不生锈,便于清洗。 
  排风和抽气系统位于载片台底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。透明可视密封盖可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出有效隔绝有毒气味的散发。 
  配有真空泵电源输出接口与抽气接口,由界面集中控制。 
  旋涂程序:用户可通过PC界面设置和存储工艺参数,可存储15组参数,支持多段速。 
  转动速度:0-5,000rpm 
  旋涂加速度:0-5000rpm/sec,加、减速时间可自由设置(0-20000ms) 
  转速稳定度  ±1rpm 
  测速精度<0.2rpm 
  工艺时间设定: 0-9,999.9 sec/step 0.1 精度 
  可镀膜尺寸5mm-200mm(8〞) 
  旋涂作业均匀性:< ±3%                                                          
  支持基片厚度≤5mm 
  匀胶腔室内径:Ф260mm ,不锈钢材质、可视透明上盖 
  抽气接口: Ф8mm快速接头,配Ф8mm透明抽气管 
  样片托:根据实际尺寸定制。 
  真空泵:配100L/min无油真空泵一台 
  电源输入: AC220V/240V 50HZ  
  整机功率:630W (真空泵230W  主机400W) 
  机身重量:11Kg   
  真空泵重:6.0Kg  
  设备尺寸:280×360×240mm

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